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微机械加速度计挠性梁机械刚度的实验研究

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摘要

在使用开环频率响应实验求取微机械加速度计挠性梁机械刚度时,不可避免地受到静电负刚度的影响.通过分析预载电压和扫频信号幅值对静电负刚度的影响,提出了从系统刚度中分离出挠性梁机械刚度的计算方法.通过不同实验条件下得到的实验结果,验证了该方法的正确性.

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来源
《传感器与微系统》 |2003年第9期|74-77|共4页
作者
李疆; 高钟毓; 董景新;
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作者单位

清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084;

清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084;

清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类非金属材料;加速度表;
关键词
微机械; 加速度计; 机械刚度; 频率响应;

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