...
机译:基于MEMS技术的静电继电器
ОАО "СКТБ релейной техники" Великий Новгород;
ОАО "СКТБ релейной техники" Великий Новгород;
ОАО "СКТБ релейной техники" Великий Новгород;
ОАО "СКТБ релейной техники" Великий Новгород;
МЭМС-технология; микропереключатель; микрореле; оптический преобразователь; микросистемная техника;