АВТОМАТИЧЕСКОЕ УПРАВЛЕНИЕ МИКРОКЛИМАТОМ В ПРОИЗВОДСТВЕННЫХ ПОМЕЩЕНИЯХ НА ОСНОВЕ РЕАЛИЗАЦИИ ПРОЦЕДУР НЕЧЕТКОГО РЕГУЛИРОВАНИЯ

摘要

Приводятся результаты математического моделирования процесса управления климатическими параметрами при производстве микроэлектроники в условиях нестационарных возмущений. Показано, что потеря эффективности ПИД-регуирования может быть компенсирована при комплексном использовании в системе управления климатом рекуррентного измерителя и нечеткого регулятора.