Чернение стальных деталей в тлеющем разряде является новым процессом [1], который находит применение в производстве цветных электронно-лучевых приборов при изготовлении деталей рамо-масочного узла (РМУ). Чернение деталей проводится путем создания на их поверхностях черной оксидной пленки магнетита (Fe_3O_4) для понижения рабочей температуры, а также для обеспечения устойчивости к коррозии и уменьшения коэффициента отражения света. Чернящая пленка имеет толщину 1...2 мкм и должна содержать ≥90 % Fe_3O_4. Процесс черчения в тлеющем разряде так же, как и азотирование, проводится в вакуумной камере при разрешении рабочей атмосферы 133...130 Па. При азотировании рабочей атмосферой является аммиак или смесь азота и водорода, а при чернении - смесь водорода и углекислого газа. Азотирование проводится при 500...580 deg C, а чернение при 380...570 deg C. Продолжительность процессов существенно различается: азотирование - 1...24 ч; чернение - 10...15 мин.
展开▼