Разработка и внедрение методов и средств для технологического обеспечения равнотолщинности функциональных покрытий

摘要

Предложена математическая модель для расчета скорости роста толщины тонкопленочного покрытия в различных точках плоской поверхности подложки в процессе ее планетарного движения, что позволяет рассчитывать ожидаемое распределение толщины покрытия. Разработана соответствующая компьютерная программа. Экспериментально определены значения коэффициентов, применяемых для компьютерного моделирования.