АНАЛИЗ МАССОПЕРЕНОСА В ГИДРИДНЫХ И ХЛОРИДНЫХ ПРОЦЕССАХ НАРАЩИВАНИЯ СЛОЕВ КРЕМНИЯ И GE_XSI_(1-X) ПРИ БЫСТРОМ ИМПУЛЬСНОМ НАГРЕВЕ ПОДЛОЖЕК НЕК

摘要

Развита теория, последовательно учитывающая вклады различных видов массопереноса, включая действие ударной волны, в общий процесс массопереноса лимитирующего реагента для случаев различных гидридных и хлоридных процессов наращивания слоев кремния и Ge_xSi_(1-x) при быстром импульсном нагреве подложек некогерентными источниками света. Показано, что термо- и бародиффузия в нашем случае значительно замедляют массоперенос лимитирущих реагентов, что должно учитываться при расчете стационарных (классических) и импульсных зпитаксиалъных процессов и реакторов.Развита теория, последовательно учитывающая вклады различных видов массопереноса, включая действие ударной волны, в общий процесс массопереноса лимитирующего реагента для случаев различных гидридных и хлоридных процессов наращивания слоев кремния и Ge_xSi_(1-x) при быстром импульсном нагреве подложек некогерентными источниками света. Показано, что термо- и бародиффузия в нашем случае значительно замедляют массоперенос лимитирущих реагентов, что должно учитываться при расчете стационарных (классических) и импульсных зпитаксиалъных процессов и реакторов.