ЭВОЛЮЦИЯ МОРФОЛОГИИ В ПРОЦЕССЕ РОСТА ОСТРОВКОВЫХ ПЛЕНОК ПОЛИ-и-КСИЛИЛЕНА, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ПОЛИМЕРИЗАЦИИ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ НА ПОВЕРХНОСТИ

摘要

С помощью атомно-силовой микроскопии исследована эволюция морфологии островковых пленок поли-л-ксилилена, сформированных на кремниевых подложках методом полимеризации на поверхности из газовой фазы при двух значениях температуры осаждения +23 и 0°С и фиксированной величине потока мономера. Изучены зависимости степени заполнения подложки, эффективной толщины островкового покрытия, концентрации на единицу площади поверхности и среднего размера полимерных островков от времени осаждения. В рамках теории динамического скейлинга проведен анализ распределения островков по размерам и распределения по размерам их "зон захвата". Показано, что наблюдаемые особенности эволюции морфологии островковых пленок поли-я-ксилилена не могут быть полностью описаны в рамках классических моделей, основанных на агрегации, ограниченной диффузией. Однако они могут быть объяснены обратимостью агрегации, которая является спецификой полимерной природы формируемых островковых покрытий.