Откачка электровакуумных приборов с разнесением частей

摘要

Разработана методика определения оптимальных условий камерной откачки электровакуумных приборов с разнесением частей, позволяющая определить наибольшую эффективную скорость откачки газов из прибора и межэлектродного пространства. Показано, что величина давления газов в приборе при камерной откачке зависит от проводимости зазора между разнесенными частями, газовыделения из материалов деталей прибора, проводимости вакуумной системы, предельного давления в камере, объемов камеры и прибора. С учетом динамики газовыделения из внутренней арматуры прибора получено соотношение, позволяющее вычислить величину зазора в начальный период обезгаживания, т. е. при максимальной газовой нагрузке.