伝送線路集積型薄膜電磁ノイズ抑制体における最適シート抵抗シミュレーション

摘要

現在伝送線路内の高周波ノイズ対策として，磁性薄膜を用いた電磁ノイズ抑制体の開発が積極的に進められている．ノイズ抑制効果を決める材料パラメータとして，最近大沼らは薄膜のシート抵抗に最適値が存在することを実験的に明らかにした．この実験事実をFEM電磁界シミュレーション（HFSS ver. 9.2.1，Ansoft社製）により検証したところ，材料開発の新しい指針を見出すことができたので報告する．