Al{sub}2O{sub}3コートしたNiFe薄膜におけるAFM局所酸化電流測定

摘要

原子間力顕微鏡(AFM)を用いた加工技術に、AFM探針－試料間にバイアス電圧を印加し、試料の探針周辺部に局所酸化反応を誘起する陽極酸化がある。 金属への酸化については、探針と試料表面との接触によるものと考えられる電流が多く流れ、酸化物が安定して形成されにくい。 しかし、金属表面に酸化物を積層させることで金属表面と探針の接触を避け、安定して酸化物を形成することができる。 また、金属が疎水性を示すのに対して、酸化膜層は親水性であるため、陽極酸化がより安定して行われることも考えられる。 我々は今回、Fig.1に示すような測定系において探針に流れる電流を測定し、酸化膜層による酸化の安定化について検討した。