グラニュラ型垂直磁気記録媒体の成膜条件と成長機構

摘要

酸化物グラニュラ型垂直磁気記録媒体は、加熱偏析型の媒体に比して磁気的孤立化が図られるため、実用化されている。 近年更なる高密度化に向けて、熱安定性、記録容易性、媒体低ノイズ化の両立のために、積極的に交換結合を導入した媒体が検討されている(refCgc, ecc)。 このような交換結合型媒体の作製の際には、グラニュラ型組織の厳密制御が以前にも増して重要となる。 しかしながら、成膜条件と構造、特に初期成長部でのグラニュラ型組織形成メカニズムについては充分に解明されていない。 そこで本講演では、グラニュラ型記録層の成膜条件と成長機構について改めて詳細に検討を行ったので報告する。