アルミ二ウム表面に関する分析技術の紹介

摘要

高い展仲性を有するアルミニウム製品の研究開発においては表面分析の重要性が高い．本報告ではデータの統計処理，検量線作成，試料前処理が重要となる3つの分析事例を紹介する．まず，アルミ上の高硬度薄膜に関して，ナノインデンテーション法を用いた多数の押し込み試験による付着性の評価事例を示す．続いて，EPMAにより数mmの領域の酸化皮膜の分布を定量する手法を示す．最後にFTIRおよびGD－OES法による水酸化膜，酸化膜の分析結果を示す．