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金属マグネシウムを用いたポリシランの実用的製造法の開発とその応用

机译:使用金属镁及其应用的多晶硅实用生产方法的开发

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摘要

ポリシランは一九九〇年代ごろから光電子材料用途を目指してリソグラフィー材料や非線形光学材料など、様々な用途への研究が盛hに行われてきた有機無機ハイブリッド材料である。
机译:聚硅烷是一种有机无机混合材料,已经研究了各种应用,例如光刻材料和非线性光学材料,例如光刻材料和非线性光学材料,旨在从1999年左右的光电材料。

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