フェムト秒レーザ表面改質装置Surfbeat-R

摘要

しゅう動部品に表面テクスチャを形成することで，潤滑剤の保持機能や流体潤滑膜の負荷能力等を向上させ，摩擦·摩耗の低減を図る研究が活発に行われている。表面テクスチャの加工方法としては，機械加工，エッチング，サンドブラスト，レーザ加工など種々の加工法が用いられている。特にレーザ加工技術は昨今のめざましい進展により，従来の加工法では困難であった複雑·微細なパターニングが可能となったことから，重要なトライボマテリアル創製技術として期待されている。最近では，フェムト秒レーザを用いた微細な表面周期構造がトライポロジー特性改善に大きな効果を発揮することが報告され，注目を集めている。本稿では，フェムト秒レーザ表面改質装置「Surfbeat-R」（図1）の加工技術，加工の特長および加工事例について紹介する。