産業洗浄の最近の動向

摘要

光学部品の洗浄（水洗浄の最終仕上げ洗浄および乾燥工程）に過去に使用されてきたフロン113がオゾン問題で使用中止となり，その代替溶剤としてIPAを大量に使用するようになった。このIPAもVOC規制の指定物質（表1）になり，各社削減や全廃を目標としている。このように，洗浄の歴史は環境問題とリンクしており，これを無視して洗浄を考えることはできない。本稿では，これらの環境問題を配慮した洗浄システムの構造と特徴，導入効果を解説する。