光学式表面性状測定機Zygo NewView7300

摘要

近年，業界を問わず研究開発，製造プロセスにおいてあらゆる部材の表面処理，仕上げにてナノメートルオーダーの加工がなされている。例えば自動車部品の摺動面のように摩擦を低減させることを目的としたDLCコートの表面や高品質な軸受の表面などがそれに相当する。微細表面性状の計測にはSPM（走査型プローブ顕微鏡），触針式粗さ計，光プローブなどが用いられるが，非接触，短時間，高精度などの特長より光干渉方式（走査型白色干渉計Scanning White Light Interferometry）による測定が用いられるようになってきている。最近では，粗さ，うねり，形状に加え欠陥部を評価するといったニーズも増えつつあり，表面性状を面で捉える必要性が強まっている。本稿では，走査型白色干渉計「Zygo NewView7300」（写真1）の計測技術，アプリケーション事例について紹介する。