マスク基板の検査技術を進化させた大型フォトマスク基板欠陥検査装置

摘要

今回開発した大型フォトマスク基板欠陥検査装置を説明してきたが，レーザーテックがマスク基板の欠陥をどのような手段で捕らえようとしているのかをご理解いただけたら幸いである。 又，本装置の仕様及び光学系等は予告無く変更されることがあるので，詳細はレーザーテック第二事業部技術又は営業までお問い合わせください。