オンライン光検査技術：ノンストップCNC画像測定機QUICK VISION STREAMシリーズ

摘要

今回開発を行った『QUICK VISION STREAM（以下，QV-STREAMと記す）シリーズ』は，高輝度LEDによるストロボ照明により，ステージを停止せず連続的に画像を取得する斬新な方式で，ステージ駆動の加減速や停止するまでの無駄時間を排除することに成功した。 性能的には標準システムであるQV-APEX機の測定精度を維持したまま，『QV-STREAM』で従来機比3倍程度，『QV-STREAM PLUS』（図1）では5倍以上のスループット向上を達成した。 本稿ではQV-STREAMシリーズのシステム概要を紹介する。