<窒化アルミニウム＞特集窒化アルミニウム（下）パワーデパイスの高機能化で、電気決録性、放熱特性、熱膨張特性が重視、新ZDA基板の登場がパワーデバイスのコス卜ダウンを後押し、AINと棲み分けながう市場拡大へ

摘要

従来の高放熱基板の主力であったアルミナセラミック基板は、熱伝導率が27～30W／mKと比較的高く、放熱性を向上させることができることから、従来盛hに剛、られてきた。しかし、パワーモジュール用基板は、搭載される半導体素子の大電力化、高速化、高集積化などからの発熱温度の上昇にともなって、回路銅板や放熱銅板との熱膨張率差が大きくなってきている。アルミナ基板では、曲げ強度が低いので、熱膨張率差による応力がセラミック基板に集中し、セラミック基板にクラックが発生するのを防止することができなくなってきている。