東北大一青山精工ーTDKなど、CZ法と同等性能を有した「形状制御ランガサイト型圧電結晶」（CNGAS）を開発

摘要

東北大、青山精工、TDKなどは、従来の結晶育成方法であったチョクラルスキー（CZ）法で育成したランガサイト型厚手結晶とほぼ同等の性能を示す、マイクロ引き下げ（mu－PD）法による低コスト「形状制御ランガサイト型圧電結晶」製造装置を開発した。この装置で、CaNbGa3SiO14（CNGAS）型円柱状、平板状、チューブ状などの高品質単結晶の成長に成功しており、CZ法に比べて多様な形状の単結晶を製造する技術を確立した。