東芝照明プレシジョンと東北大など、新規ランガサイト型単結晶振動予を開発、新製造プロせスの確立で低コストの製品化を実現

摘要

新エネルギー·産業技術総合開発機構（NEDO）プロジェクトで、東芝照明プレシジョン、東北大学、株式会社Piezo Studioは、ランタン、ガリウム、シリコンなどから構成される新規なランガサイト型単結晶を用いた振動子を開発した。結晶育成からデバイス製造まで新たな製造プロセスを確立したことによって、低コストの製品化を実現した。ランガサイトの振動子は従来の水晶振動子に比べて、低インピーダンス、短起動時間、広帯域幅の特性を有しており、搭載機器の省電力、小型化に貢献、広帯域幅を利用したフィルターなど、新用途への活用が期待できる。