亜鉛めっきによるピーリング工具の作製－単発放電による被覆部除去と微細加工の試み

摘要

この現象は、二層構造の電極を用いて単発放電を行うと、外層の金属のみを除去できる可能性を示していた。そこで我々は、コア部となる微細電極には高融点で剛性のあるタングステンを用い、その周囲を亜鉛めっきで被覆した構造の電極、ピーリング工具を提案した。本報告では、これまでに得られたピーリング工具の作製精度を偏心量と表面粗さから評価し、さらに作製した工具の単発放電による被覆部除去の結果と微細放電穴あけ加工の結果を紹介する。