Technische Sauberkeit auf hochstem Niveau

摘要

Bei der Produktion von Halbleitern sind Systeme erforderlich, deren Bauteile und Komponenten nahezu keine filmischen oder partikularen Verschmutzungen aufweisen. Es ist also Technische Sauberkeit auf hochstem Niveau in allen Ebenen und Prozessen gefragt. Wie dies gelingen kann, zeigt ein aktuelles Anlagenprojekt. Durch die zunehmende Vernetzung, Miniaturisierung und Automatisierung in der digitalen Welt steigen die Anforderungen an die Leistung von Computern stetig. Deshalb werden immer mehr Transistoren auf der selben Flache untergebracht. So nahert sich die Grosse von Halbleiterstrukturen nach und nach den Dimensionen von Atomen an. Dies hat wiederum Auswirkungen auf die herstellende Industrie.