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机译:由SI,SIO或SIO2粉末和CH4合成SIC(BETA)超细颗粒
Chemical vapor-deposition; High-temperature equilibria; Beta silicon-carbide; Multiphase systems; Computer-program; Growth;
机译:由SI,SIO或SIO2粉末和CH4合成SIC(BETA)超细颗粒
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