フェムト秒レーザ用長焦点深度回折型レンズの開発

摘要

レーザ加工技術は金属材料の溶接·溶断をはじめとして、電子部品の穴明け、液晶用ガラスの割断、半導体デバイスのアニールなど多様化が進hでおり、レーザ加工を最大限活用するための強度均一化や多点分岐といった技術が求められている。 今回、熱ダメージレス加工·透明材料加工を始めとした新しいレーザ加工技術として注目されるフェムト秒レーザ加工に関して、光制御という観点から新しい加工アプリケーションが期待される長焦点深度回折型レンズを開発した。 本レンズは光の断面強度分布に着目するものではなく、光軸上での光強度変化を制御することに着目したものである。これはフェムト秒レーザ特有の、波長スペクトルが広い(～10nm)という性質と、回折型焦点レンズの焦点距離が波長に大きく依存するという性質を組み合わせることで多重焦点化し、長焦点深度化を実現する。 現在、ますます高密度実装化が求められているエレクトロニクス·電子部品の分野におけるテーパレス微細穴明け加工への応用が期待されるものである。フェムト秒レーザを始めとして発展の目覚ましいレーザ加工分野において、今後もレーザ加工アプリケーションとしての光学系開発·製品化を推し進めていくことでレーザ微細加工技術の発展に貢献してゆきたい。