机译:用于实时监测氯硅烷气体传输的石英晶晶微观,纤维纤维纤维化铝化学气相沉积反应器
Yokohama Natl Univ Yokohama Kanagawa Japan;
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Yokohama Natl Univ Yokohama Kanagawa Japan;
Yokohama Natl Univ Yokohama Kanagawa Japan;
Yokohama Natl Univ Yokohama Kanagawa Japan;
Yokohama Natl Univ Yokohama Kanagawa Japan;
Yokohama Natl Univ Yokohama Kanagawa Japan;
Natl Inst Adv Ind Sci &
Technol Tsukuba Ibaraki Japan;
Natl Inst Adv Ind Sci &
Technol Tsukuba Ibaraki Japan;
Natl Inst Adv Ind Sci &
Technol Tsukuba Ibaraki Japan;
Minimal fab; Chemical vapor deposition reactor; Quartz crystal microbalance; Silicon epitaxial growth; Trichlorosilane; Dichlorosilane;
机译:用于实时监测氯硅烷气体传输的石英晶晶微观,纤维纤维纤维化铝化学气相沉积反应器
机译:在纤薄的垂直冷壁化学气相沉积反应器中,用于评估二氯硅烷与三氯硅烷与三氯硅烷之间的气体运动差异的石英晶体微稳定
机译:石英晶体微天平,用于评估超薄立式冷壁化学气相沉积反应器中环境氢气中二氯硅烷和三氯硅烷之间的气体运动差异
机译:用石英晶体微稳态技术的反应器气体监测
机译:铜电沉积与电化学石英晶体微量天平的界面研究。
机译:在冷壁反应器中通过化学气相沉积制造石墨烯封装的铜颗粒
机译:在纤薄的垂直冷壁化学气相沉积反应器中,用于评估二氯硅烷与三氯硅烷与三氯硅烷之间的气体运动差异的石英晶体微稳定