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机译:ITRS光刻路线图:2015年的挑战
directed self assembly (DSA); EUV lithography; ITRS roadmap; lithography; maskless lithography; multiple patterning; nanoimprint; semiconductor patterning.;
机译:ITRS光刻路线图:2015年的挑战
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机译:1999年ITRS计量路线图及其对光刻的影响
机译:半导体行业中的技术创新:以国际半导体技术路线图(ITRS)为例。
机译:2015年亚洲丙型肝炎病毒感染管理路线图
机译:国际半导体技术路线图(ITRs)的功率受限mpU路线图
机译:基于1999 ITRs的半导体产品分析挑战