机译:基于异质结构的高压元件制造优化及两个输入增加它们的元素密度。 小姐匹配诱导应力和材料孔隙率对技术过程的影响
Nizhny Novgorod State University Nizhny Novgorod 603950 Russia;
High-Voltage Element AND; Field-Effect Heterotransistors; Optimization of Manufacturing; Mismatch-Induced Stress; Porosity of Materials of Heterostructure;
机译:基于异质结构的高压元件制造优化及两个输入增加它们的元素密度。 小姐匹配诱导应力和材料孔隙率对技术过程的影响
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