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机译:通过电感耦合CF4 / O-2等离子体与TiO 2微粒混合的干蚀刻和残留物除去功能性聚合物,用于湿度传感器应用的超声处理丙酮
Kwangwoon Univ Radio Frequency Integrated Circuit Ctr Seoul 139701 South Korea;
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机译:通过电感耦合CF4 / O-2等离子体与TiO 2微粒混合的干蚀刻和残留物除去功能性聚合物,用于湿度传感器应用的超声处理丙酮
机译:用于干法蚀刻的CF4,Cl-2和HBr + Ar电感耦合等离子体的比较研究
机译:用于干法蚀刻的CF4 / O-2 / Ar和C4F8 / O-2 / Ar等离子体的比较研究
机译:在C
机译:控制在感应耦合等离子体中蚀刻过程中形成和去除涂层的相对速率。
机译:使用功能性聚合物与TiO2微粒混合的高灵敏度低滞后多孔MIM型电容式湿度传感器
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机译:电感耦合等离子体(ICp)干蚀刻中三氯化硼/氯气体分子外延生长p型氮化铝镓的刻蚀特性及表面分析