関東電化、渋川工場で四フツ化炭素の生産能力を6月に10％増強

摘要

関東電化工業は、渋川工場（群馬県渋川市）で半導体のエッチングガスや半導体製造装置のクリーニングガスとして使用されている四フツ化炭素（CF_4）の年産能力を6月に100トン増の1,100トンに増強する。同社は今後の半導体製造装置、LCDパネルなどの生産増を見込み、半導休·液晶用特殊ガスの増産投資を推進中で、半導体·液晶プラズマCVD装置のチャンバークリーニングガスとして使用されている三フッ化窒素（NF_3）の年産能力も2月に500トン増の3,500トンに引き上げている。