太陽電池対応ノンプラズマクリーニング、高濃度オゾン技術

摘要

太陽電池製造プロセス向けノンプラズマクリ「ニングガス（三弗化塩素ClF_3）はノンプラズマで基板全般の洗浄性の高さと非地球温暖化物質としての環境特性を併せ持つ。燃焼式排ガス処理装置ダイナガードは粉体がなるべく着かない工夫をほどこしてある。 酸化珪素（SiO_2）粉体除去システムエコトラッパー、液化水素は超高純度、高効率輸送、省スペース貯蔵などを特性として太陽電池向けに最適とする。 高濃度オゾン利用利用技術では、オゾンパッシベーション、シリンダーオゾンガス、TiCl液体供給装置（ヘンミ計算尺社製）、高濃度発生装置HAP－8000などを。 弗素リサイクルシステムWINLOOP、三弗化塩素利用のMEMSプロセスでの犠牲層エッチングなど独自の取り組みを中心に提案する。