対象ガス·流量の変更に対応可能、部品点数の削減に

摘要

MFC「P4B」と「P250」、MFCの作動確認装置「HAMFV」などを出展する。その中でも特に「P4B」はLEDのMOCVD装置用がメインで、ガス流量の誤差を確実に設定値の1％までに制御できる。制御するガス種をHZやNH3などに変更しても全体の流量の誤差を1％までに抑えることも特徴である。