(S306)1 kHz-1 mJ クラス Nd:YAG レーザーを用いた走査型レーザー誘起プラズマ発光分析装置の開発

摘要

レーザー誘起プラズマ発光分析(LIBS: Laser-Induced Breakdown Spectroscopy)とは、レーザーアブレーションによって固体試料をサンプリングし、レーザー誘起プラズマ内で原子化および励起を行い、励起された原子が脱励起する際に発せられる発光線のスペクトルを解析することにより試料中の元素の定性?定量を行う手法である。