高熱効率プロセス用熟プラズマ源の開発

摘要

プラズマジェットを用いたプロセスで高品質の反応生成物を効率よく得るためには、材料注入や容器圧力の変化などに対して安定度が優れ、大容量かつ高出力·高熱効率のプラズマ源の開発が重要な課題となる。 これまでに筆者らは、通常型の発生器に絶縁集束ノズルを組み込hだ強制伸長型プラズマジェット発生器を開発し、この発生器は種々の動作条件に対して安定で、大容量のジェットを発生できることを示してきた。 ここでは更に、絶縁集束ノズルが発生器の熱的特性に与える影響について検討する。