Измерение линейных размеров рельефных элементов микро- и наноструктур на высокои низковольтных растровых электронных микроскопах

Ч. п. ВОЛК; Ю. А. НОВИКОВ; А. В. РАКОВ; П. А. ТОДУА

首页> 外文期刊>Измерительная техниκа >Измерение линейных размеров рельефных элементов микро- и наноструктур на высокои низковольтных растровых электронных микроскопах

【24h】

Измерение линейных размеров рельефных элементов микро- и наноструктур на высокои низковольтных растровых электронных микроскопах

机译：高低压光栅电子显微镜上微型和纳米结构压花元件线性尺寸的测量

获取原文

获取原文并翻译 | 示例

掌桥外文数据库（机构版） >>

开具论文收录证明 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

Проведены измерения ширины линии одного и того же тест-объекта на высоко- и низковольтных растровых электронных микроскопах.

机译：执行在高压栅格电子显微镜下相同测试对象线宽度的测量。

著录项

来源
《Измерительная техниκа》 |2009年第1期|共3页
作者
Ч. п. ВОЛК; Ю. А. НОВИКОВ; А. В. РАКОВ; П. А. ТОДУА;
展开▼
作者单位

ОАО 《НИИМЭ и завод 《Микрон》 Москва Россия;

Институт общей физики им. А.М Прохорова РАН Москва Россия e-mail: nya@kapella.gpi.ru;

Институт общей физики им. А.М Прохорова РАН Москва Россия e-mail: nya@kapella.gpi.ru;

Научно-исследовательский центр ПО изучению свойств поверхности и вакуума Москва Россия e-mail: fgupnicpv@mail.ru;

展开▼
收录信息
原文格式 PDF
正文语种 rus
中图分类计量学;
关键词
scanning electron microscopes; test-object; linewidth; linear dimensions of relief structures;

机译：扫描电子显微镜;测试物体;线宽;浮雕结构的线性尺寸;

相似文献

中文文献
专利

Измерение линейных размеров рельефных элементов микро- и наноструктур на высокои низковольтных растровых электронных микроскопах

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅