СИНТЕЗ, ТЕРМО- И ФОТОХИМИЧЕСКИЕПРЕВРАЩЕНИЯ СОПОЛИМЕРОВ ПРОИЗВОДНЫХ НОРБОРНЕНА СБОКОВЫМИ КАРБОКСИЛЬНЫМИ И НИТРИЛЬНЫМИ ГРУППАМИ

摘要

Наиболее значительные успехи в областисуб-микронной литографии связаны в настоящее время слитографией, использующей излучение 193 нм ArFэксимерного лазера [1, 2]. Эта технология, которая в рядестран выходит на промышленный уровень, позволяетполучать микросхемы с топо-логическими элементамишириной 0.18-0.13 мкм.