フラウン木一フア一電子ビ一ム·プラズマ技術研究所:ウエブコ一テイング技術と応用

摘要

今月は、現在の光学膜用ウェブコ一夕ーの主流技術である高速パルススパッタ法や今後が期待される超高速プラズマ活性化蒸着法を保有し、研究開発から生産、ハードウェアまで、他にはないサービスを提供しているFEPのポリマーフイルムへの高機能膜形成用ウェブコーティング技術と応用例を紹介する。