太陽電池の最新動向：大面積·高効率薄膜シリコン太陽電池

摘要

独自のショートパルスVHFプラズマCVD法により、メーター角サイズの大面積·高品質アモルファスシリコン、微結晶シリコン膜の成膜技術を確立し、光電変換効率（安定化効率）11％の大面積薄膜シリコンセルが得られたことを報告する。また、この高効率薄膜セル技術を用いた電力用モジュール、建材用モジュールへの応用例について紹介する。