ハイバリアフイルム評価のための気体中微量水分計測

摘要

フレキシブルエレクトロニクス·プリンテッドエレクトロニクス技術発展のためのキーテクノロジーの1つに、それらのデバイス基盤を水蒸気から保護する、バリア性の高いフイルム（ハイバリアフイルム）の開発があげられる。例えば、有機ELデバイスの場合、製品として十分な寿命を確保するには、水蒸気透過度（WVTR）が10~(-5)g／（m~2d）未満となるハイバリアフイルムが必要と言われている。このことは、10~(-5)g／（m~2d）未満のレベルで水蒸気透過度を評価できる技術も同時に必要であることを意味している。