30倍の感度で測定できる「真空アルファ線トラッキング法」でLSIの信頼性向上―ソフトエラー発生原因のアルファ線放出を抑える材料の選択が可能―

摘要

富士通研究所はLSIの一時的誤作動であるソフトエラーを引き起こすアルファ線を従来の30倍高感度に測定する新手法を開発した。 真空アルファ線トラッキング法と呼び、真空中で試料からのアルファ線がプラスチック板を貫通した跡が、エッチングするとエッチピットとして計測できる仕組み。 ソフトエラー発生率を従来より1桁正確に予測でき、アルファ線放出がより少ない材料の選択が可能となる。