LED向け量産専用ドライエッチング装置を発売

摘要

アルバックは化合物半導体やMEMS分野に多くの納入実績をもつドライエッチング装置「APIOS NEシリーズ」に昨年発売した発光ダイオード（LED）量産専用ドライエッチング装置「NE－950」の後継機種として，同社従来比140％の生産性向上を実現した「NE－950EX」の販売を開始した。