イオン交換樹脂の電子材料精製への応用

摘要

超純水は半導体製造技術の進歩に伴い，より理論純水に近い水質へと進化し続けている。超純水製造にはイオン交換樹脂が不可欠であり，超純水用のイオン交換樹脂は水中の不純物を除去すると同時に，イオン交換樹脂自身からも溶出物を出さないことが求められている。イオン交換樹脂のクリーン化要望は，超純水の要求水質とともに厳しくなってきている。