机译:血浆曝光下氮化硼膜表面改性机制的表征
Kyoto Univ Grad Sch Engn Nishikyo Ku Kyoto 6158540 Japan;
SHINKO SEIKI CO LTD Moriyama Shiga 5240051 Japan;
Hyogo Prefectural Inst Technol Kobe Hyogo 6540037 Japan;
Kyoto Univ Grad Sch Engn Nishikyo Ku Kyoto 6158540 Japan;
Osaka Univ Inst Sci &
Ind Res Ibaraki Osaka 5670047 Japan;
Kyoto Univ Grad Sch Engn Nishikyo Ku Kyoto 6158540 Japan;
Boron nitride; Plasma; Ion energy; Hardness; Molecular dynamics simulation; Damage;
机译:血浆曝光下氮化硼膜表面改性机制的表征
机译:等离子体压缩化学气相沉积制备立方晶氮化硼薄膜中残余压缩应力引起的六方氮化硼红外吸收频移
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机译:等离子体增强原子层沉积大规模合成均匀的六方氮化硼薄膜
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