Effusionsmessplatz fur Solarzellen geht in Betrieb

摘要

Ein einzigartiges Messsystem steht am Fraunhofer-Center fur Silizium-Photovoltaik CSP zur Verfugung HALLE (SM). Bei der industriellen Fertigung von Solarzellen ist die Passivierung des Siliziumvolumens - das Erzeugen einer Schutzschicht - durch Wasserstoff von elementarer Bedeutung, um einen maximalen Wirkungsgrad der Solarzellen hervorzurufen. Wahrend der Passivierung wird in einem Plasmaprozess eine wasserstoffreiche Silizium-Nitrid-Schicht (SiN: H-Schicht) auf der Solarzellenoberflache aufgebracht. Im Anschluss daran wird die SiN: H-Schicht in einem thermischen Prozess aktiviert, wodurch der Wasserstoff aus dieser Schicht in das Volumen der Solarzelle eindringen kann. Der Wasserstoff bindet dort sogenannte Rekom-binationszentren und gleicht so beispielsweise Verunreinigungen aus. Dieser Vorgang bewirkt eine Verbesserung des Wirkungsgrades der Solarzellen.