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机译:使用具有相锁环和压电驱动弯曲级的外差干涉仪的19 - Picometer机械步骤位移测量
Heterodyne; Interferometers; Phase-locked loop; Phase shifter; Null method; Displacement measurement; Resolution; Noise floor;
机译:使用具有相锁环和压电驱动弯曲级的外差干涉仪的19 - Picometer机械步骤位移测量
机译:外差式干涉仪与全息位移传感器的亚纳米分辨率位移测量
机译:基于FPGA的智能传感器,用于使用外差式干涉仪进行在线位移测量
机译:使用单锁相环,外差干扰测量和压电驱动阶段使用微微差分辨率进行微微仪分辨率的机械步进位移的致动和测量系统
机译:紧凑型外差干涉仪,用于高精度位移测量
机译:基于FPGA的智能传感器可使用外差式干涉仪进行在线位移测量
机译:基于FPGA的智能传感器,可使用外差式干涉仪进行在线位移测量