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机译:使用NF(3)和远程排出的NH 3 / N(2)混合物的化学干蚀刻中的气相反应机制
Natl Inst Adv Ind Sci &
Technol 16-1 Onogawa Tsukuba Ibaraki 3058569 Japan;
Natl Inst Adv Ind Sci &
Technol 16-1 Onogawa Tsukuba Ibaraki 3058569 Japan;
ULVAC Inc Inst Adv Technol 2500 Hagisono Chigasaki Kanagawa 2538543 Japan;
ULVAC Inc Inst Adv Technol 2500 Hagisono Chigasaki Kanagawa 2538543 Japan;
ULVAC Inc Inst Adv Technol 1220-1 Suyama Susono Shizuoka 4101231 Japan;
机译:使用NF(3)和远程排出的NH 3 / N(2)混合物的化学干蚀刻中的气相反应机制
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