机译:通过将活性离子束蚀刻与动态化学蚀刻相结合,无论如何对熔融二氧化硅表面上的激光损伤前体的无痕减轻
China Acad Engn Phys Res Ctr Laser Fus Mianyang 621900 Peoples R China;
China Acad Engn Phys Res Ctr Laser Fus Mianyang 621900 Peoples R China;
Zhejiang Univ State Key Lab Modern Opt Instrumentat Hangzhou 310027 Peoples R China;
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China Acad Engn Phys Res Ctr Laser Fus Mianyang 621900 Peoples R China;
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Zhejiang Univ State Key Lab Modern Opt Instrumentat Hangzhou 310027 Peoples R China;
China Acad Engn Phys Res Ctr Laser Fus Mianyang 621900 Peoples R China;
Shanghai Jiao Tong Univ IFSA Collaborat Innovat Ctr Shanghai 200240 Peoples R China;
China Acad Engn Phys Res Ctr Laser Fus Mianyang 621900 Peoples R China;
机译:通过将活性离子束蚀刻与动态化学蚀刻相结合,无论如何对熔融二氧化硅表面上的激光损伤前体的无痕减轻
机译:结合反应离子刻蚀和动态化学刻蚀以提高熔融石英光学表面的耐激光损伤性
机译:通过组合化学蚀刻和CO2激光抛光处理的地面熔融二氧化硅,具有超光滑的表面和高损伤性
机译:通过离子束蚀刻(CsLiB6O10和熔融石英)改善紫外光学系统中激光引起的表面损伤
机译:在感应耦合等离子体反应器中研究碳氟化合物沉积和蚀刻对硅和二氧化硅蚀刻工艺的影响(使用三氟化甲基),并开发了用于研究等离子体与表面相互作用机理的反应离子束系统。
机译:离子束刻蚀对熔融石英纳米损伤前体演化的影响
机译:HF / HNO $ _3 $和KOH溶液中的深湿蚀刻对351 nm熔融石英光学元件的抗激光损伤性和表面质量的影响