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机译:通过单脉冲激光诱导的光致抗蚀剂SU8中的单脉冲激光诱导的周期性表面结构(嘴唇)产生的机械稳定结构
Philipps Univ Marburg Dept Chem D-35032 Marburg Germany;
laser-induced periodic surface structures; LIPSS; photoresist SU8; mechanically metastable surface;
机译:通过单脉冲激光诱导的光致抗蚀剂SU8中的单脉冲激光诱导的周期性表面结构(嘴唇)产生的机械稳定结构
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