鋼板表面欠陥の偏光画像解析

摘要

鋼板の表面検査においては、画像による光学式が広く用いられており、多くの場合、検査目標の欠陥群を 確実に検出できるよう、かつ欠陥以外を過剰検出しないよう投光角度と１種または複数の受光角度を決め、 受光画像における検出対象のコントラストから欠陥を抽出している。この方法は有効であるが、欠陥?過剰検 出要因及び投受光角度との物理的関連が明確でないために、光学配置の決定に多くの試行錯誤を要する。 そこで本報告では対象表面の反射偏光パラメータΔΨに着目し、物理量としての定量的な根拠をもって欠 陥とそれ以外のものを識別する可能性を探索した。この基本手法と基礎的試験の結果について述べる