机译:直流和大功率脉冲磁控溅射Cr2AlC的组合比较
HiPIMS; DC magnetron sputtering; MAX phase; Cr2AlC; NEXAFS;
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机译:DC和高功率脉冲磁控溅射杂合金Ni80Fe20磁性和结构性能的比较
机译:通过反应直流磁控溅射和高功率脉冲磁控溅射在SiO_2上生长的锡薄膜的比较
机译:用于互连金属化的高功率脉冲磁控溅射和调制脉冲功率溅射的比较。
机译:高功率脉冲磁控溅射
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